干涉减弱薄膜最小厚度是多少,为什么薄膜干涉的厚度要很小 -凯发k8娱乐

镀膜在很多应用,包括光学,半导体,消费电子等等行业场景中,起着至关重要的作用。zygo的3d光学轮廓仪,提供的多种薄膜测量和分析技术,能得到膜层表面、膜层厚度和基底表面形貌测试结果,从而实现对制备膜层工艺的精确控制。

zygo 白光轮廓仪基于不同技术,提供两种可选方式,分别用于测试厚度50-2000nm以及1-150um的透明膜层的:

膜层上表面形貌膜层厚度分布基底形貌

standard film analysis (lsq) 作为newview 9000,及 nexview nx2 轮廓仪的可选功能,用于测试和分析1-150um厚度范围的透明膜层。

当透明光学薄膜存在时,会在扫描时对应不同的折射率变化界面,产生多组干涉信号,mx软件分析和分离各个信号,分别得到膜层表面,厚度和基底的信息。

使用standard film analysis (lsq),为了得到精确结果,需要输入膜层折射率n值。

advanced model based analysis (mba), nexview nx2 轮廓仪独有的可选功能,用于测试和分析50-2000nm厚度透明膜层。

更薄的膜层,其各个分界面的干涉信号,在扫描过程中会更紧密地混合在一起,很难分辨,如上图左。 mba 模式是zygo一项专利技术,依据输入的膜层和基底的光学参数,以及被测膜层厚度的范围,可以建立一个膜层堆叠的模型;通过比对模型和实际测试信号,拟合出最佳的结果。

mba可通过过预设输入phase change on reflection - pcor?(光在不同材料折射率界面反射时的相位跳变),使模型更准确地匹配实际情况,从而拟合出更精确的结果。

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镀膜是在表面镀上非常薄的透明薄膜,目的是希望减少光的反射,增加透光率,抗紫外线并抑制耀光、鬼影。镀膜膜厚单位一般使用微米(μm) 单位,其厚度非常小,传统方法根本无法精准测量,而在实际应用环节中镀膜的厚度又对产品质量有着极其重要的影响。因此,请大家来通过这篇文章来了解一下精质视觉的“光学干涉测厚仪”。

【产品简介】

精质视觉的光学干涉测厚仪是利用光学干涉法,发射一束白光至薄膜表面,通过检测反射光的干涉条纹,即可测量出薄膜的厚度。其可应用在以下场所:

测量光学镀膜、手机触摸屏ito等镀膜厚度、pet柔性涂布的胶厚等厚度、led镀膜厚度,建筑玻璃镀膜厚度及其它需要测量的镀膜涂层厚度的场合。

【产品类别】

精质视觉的光学干涉测厚仪分为以下两种:

薄膜:在一维方向上的尺度远小于其他二维尺度的物质形态。 光学上的薄膜是指能够实现干涉的薄膜;电子学上的薄膜厚度不大于1μm。

光学薄膜:引入了干涉和吸收等光学概念,并发挥这些作用的薄膜。

红外波段:0.7~100μm 可见波段:400nm ~ 700nm

维恩位移:辐射峰值波长随辐射源温度降低,而长移。其中,峰值波长λ = b/t

红外光学薄膜:工作在红外区域(0.7 ~ 25μm)的光学薄膜。 特点:①膜层厚、比较软、耐环境能力差。 ②结合力较弱。离子辅助轰击效果不显著,轰击往往增加吸收。 ③红外光学系统没有光学薄膜就无法工作。 近红外:0.7~1.1μm 短波红外:1 ~ 3 μm 中红外:3 ~ 5 μm 长波红外:5μm以上

薄膜在现代(光)信息技术中发挥作用:光谱的限制与获得,能量的传递,量子态的识别与控制。

重要制备技术:热蒸发 真空中的热蒸发有两种:电阻加热和电子枪加热。 当凝结几率明显大于解吸几率的时候,薄膜开始生长。

地球同步卫星高度 : 36000km 太阳同步卫星 600~ 1500km 低倾角轨道 350km 倾角 35°

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